Tổng hợp lớp film bán dẫn mầm tinh thể ZnO trên kính dẫn trong suốt ito với thiết bị tự chế spin – coating

Bài viết này trình bày về thiết bị spin coater được thiết kế, chế tạo và ứng dụng để tổng hợp vật liệu màng mỏng đồng nhất trên chất nền phẳng với chi phí phù hợp, dễ sử dụng, khả năng hoạt động ở 2 pha tốc độ với khoảng tốc độ điều chỉnh là 300 - 4800 rpm, độ ổn định tốc độ cao và phù hợp với chất nền phẳng có nhiều hình dạng khác nhau với kích thước tối đa 10 cm. Mời các bạn cùng tham khảo!

Từ khóa: Tạp chí Khoa học Công nghệ, Công nghệ Hoá học, Thiết bị tự chế spin-coating, Vật liệu bán dẫn mầm tinh thể ZnO, Cấu trúc tinh thể của lớp vật liệu, Thiết bị điện tử quang điện hoá