Ebook Kỹ thuật chân không và công nghệ bề mặt: Phần 1

Tài liệu "Kỹ thuật chân không và công nghệ bề mặt" phần 1 trình bày các nội dung chính sau: Lý thuyết rút khí trong kỹ thuật chân không; Hệ chân không; Đo áp suất chân không; Điều khiển chiều dày màng mỏng, dao động kế thạch anh; Tính toán thiết kế hệ chân không;... Mời các bạn cùng tham khảo để nắm nội dung chi tiết.

Từ khóa: Kỹ thuật chân không, Công nghệ bề mặt, Lý thuyết rút khí, Hệ chân không, Đo áp suất chân không, Buồng chân không