Nghiên cứu, tối ưu thiết kế cảm biến điện dung đo nồng độ bụi silic

Bài viết này trình bày nghiên cứu, tối ưu thiết kế cảm biến điện dung đồng phẳng đo nồng độ hạt bụi silic trong các nhà máy chế biến bột đá thạch anh, Để tối ưu cấu trúc cảm biến và giảm thành phần ký sinh và nhiều thông thường, cấu trúc cảm biến điện dung được thiết kế gồm một tụ điện tham chiếu và một tụ điện cảm biến. Điện cực của cảm biến được phủ một lớp Acrylic để bảo vệ và cách điện.

Từ khóa: Cảm biến điện dung, Cảm biến bụi silic, Cảm biến đồng phẳng, Nồng độ hạt bụi silic, Thiết kế cảm biến điện dung